[发明专利]可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计有效
| 申请号： | 201911097156.5 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN110780089B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 彭勃;张文明;胡开明;闫寒 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王毓理;王锡麟 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计，包括：第一质量块结构、第二质量块结构和谐振结构，谐振结构分别与第一质量块结构和第二质量块结构相连；所述的谐振结构包括：电压相同的第一敏感谐振器、第二敏感谐振器和耦合谐振器，以及灵敏度调节谐振器。第一质量块结构包括：第一质量块、第一固定锚点和第一弹性梁；第二质量块结构包括：第二质量块、第二固定锚点和第二弹性梁。本发明通过三自由度的弱耦合结构设计和测量振幅比的模态局部化原理大大提高了加速度计的极限灵敏度，并在基础上额外附加了一个谐振器，通过调节该谐振器和另外两个谐振器间的静电耦合负刚度来调节加速度计的灵敏度，将量程扩大了50倍以上，使得本发明能适用于加速度变化范围很大的工作场景。 | ||
| 搜索关键词： | 可调 灵敏度 耦合 谐振 式微 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计，其特征在于，包括：第一质量块结构、第二质量块结构和谐振结构，其中：谐振结构分别与第一质量块结构和第二质量块结构相连；/n所述的谐振结构包括：电压相同的第一敏感谐振器、第二敏感谐振器和耦合谐振器，以及灵敏度调节谐振器，其中：第一敏感谐振器和第二敏感谐振器各自通过第一耦合梁和第二耦合梁与耦合谐振器相连，第一敏感谐振器和第二敏感谐振器对称设置于耦合谐振器两侧，灵敏度调节谐振器设置于第一和第二敏感谐振器之间并设置于耦合谐振器下。/n
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