[发明专利]一种降低PERC太阳能电池电致衰减的扩散工艺在审
| 申请号： | 201911098222.0 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110931597A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王利彦;林纲正;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 金丽英 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种降低PERC太阳能电池电致衰减的扩散工艺，包括进舟、升温通前氧、沉积、推进、降温通后氧、低温修复等步骤，在原有的扩散工艺后增加一个低温过程，可以修复高温产生的空位、间隙原子、位错、层错等缺陷，增加太阳能电池效率，降低太阳能电池电致衰减，该工艺方法简单无需改造设备，可产业化实施。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 perc 太阳能电池 衰减 扩散 工艺 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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