[发明专利]反极性垂直发光二极管及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911099376.1 申请日: 2019-11-11
公开(公告)号: CN110808319B 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 郭亚楠;闫建昌;王军喜;李晋闽 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L33/32 分类号: H01L33/32;H01L33/20;H01L33/06;H01L33/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴梦圆
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种反极性垂直发光二极管及其制备方法,该反极性垂直发光二极管包括:基板;n型电极,位于所述基板之上;n型GaN基半导体层,位于所述n型电极之上;发光层,位于所述n型GaN基半导体层之上;p型GaN基半导体层,位于所述发光层之上;p型电极,位于所述p型GaN基半导体层之上;其中,所述n型GaN基半导体层、发光层和p型GaN基半导体层在自下而上的方向上均表现为氮极性,在自上而下的方向上均表现为金属极性。本发明综合反极性和垂直结构的优势,可有效提高p型GaN基半导体层的空穴浓度,抑制量子阱有源区的量子限制斯塔克效应,从而提高LED的辐射复合效率和内量子效率,改善LED的发光性能和可靠性。
搜索关键词: 极性 垂直 发光二极管 及其 制备 方法
【主权项】:
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