[发明专利]带电粒子显微镜中的共焦成像的方法和系统有效
| 申请号： | 201911099869.5 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN111189857B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | M·威廉姆森;A·巴纳姆;D·唐 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/2251;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黄晓升 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了用于带电粒子显微镜共焦成像的方法和系统。实例方法包括获得一部分样品的多个探针图像，所述多个探针图像中的每个探针图像在所述样品内的不同焦深处获得，将虚拟光圈应用于所述多个探针图像中的每个探针图像以形成相应的多个共焦图像，以及基于所述多个共焦图像形成所述样品的三维重建。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 显微镜 中的 成像 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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