[发明专利]电感耦合等离子体系统有效
| 申请号： | 201911100113.8 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110911262B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 李兴存;张受业 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电感耦合等离子体系统，其包括壳体、下部电极、射频源、匹配器以及电流回流装置。所述壳体接地且所述壳体形成腔室。所述下部电极置于所述腔室内，并用于承载工作件；所述匹配器的一端通过所述壳体的接口连接至所述下部电极，另一端连接至所述射频源。所述射频源用于向所述下部电极提供偏压射频功率，所述匹配器用于进行阻抗匹配。所述匹配器包括外壳及第一电容。所述外壳接地。所述第一电容的第一端连接至所述外壳且第二端连接至所述射频源。所述电流回流装置的一端连接至所述壳体，另一端连接至所述第一端。所述电流回流装置用于提供电流路径来使得电流自所述壳体的内壁经所述电流回流装置、所述匹配器的所述外壳到所述射频源。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 系统 | ||
【主权项】：
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