[发明专利]一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法在审
| 申请号： | 201911100142.4 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110726378A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 吴俊杰;李源;王阳;傅云霞;蔡潇雨;魏佳斯;周勇;孙恺欣 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/00 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任翠翠 |
| 地址： | 200040 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法，在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。 | ||
| 搜索关键词： | 四象限光电探测器 光斑 测量装置 微接触式 样品表面 反射镜 偏移量 四棱锥 三维 中心连接部 被测样品 产生位置 激光光源 坐标参数 反射面 接触点 测针 反射 校正 测量 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，其特征是，包括激光光源(1)，所述激光光源(1)的正下方设有四棱锥反射镜(2)，所述四棱锥反射镜(2)安装在悬架结构(3a/3b/3c/3d)上，所述悬架结构(3a/3b/3c/3d)包括刚性框架(4a/4b/4c/4d)和设置于刚性框架(4a/4b/4c/4d)中心的中心连接部(5a/5b/5c/5d)，所述中心连接部(5a/5b/5c/5d)与刚性框架(4a/4b/4c/4d)之间连接有可变形连接部(6a/6b/6c/6d)，所述四棱锥反射镜(2)安装在中心连接部(5a/5b/5c/5d)的上表面，中心连接部(5a/5b/5c/5d)的下表面安装有测针(7)，测针(7)的下端设有测端球(8)，所述测端球(8)用于和样品接触并通过中心连接部(5a/5b/5c/5d)带动四棱锥反射镜(2)产生位置变化；所述四棱锥反射镜(2)的其中三个反射面分别对准X轴四象限光电探测器(9)、Y轴四象限光电探测器(10)、Z轴四象限光电探测器(11)；所述四棱锥反射镜(2)用于将激光光源(1)发出的光线通过所述三个反射面分别反射至X轴四象限光电探测器(9)、Y轴四象限光电探测器(10)、Z轴四象限光电探测器(11)中；所述X轴四象限光电探测器(9)、Y轴四象限光电探测器(10)、Z轴四象限光电探测器(11)用于接收所述三个反射面所反射的光信号并产生对应的电压信号，从而得出样品的表面参数。/n
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