[发明专利]一种机床工作台五自由度误差同时测量系统及方法在审
| 申请号： | 201911100158.5 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110715603A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 郭正刚;徐董辉;王娟;牛帅旗;冯盼州;周亚清;吕帅 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/26;G01B11/27 |
| 代理公司： | 21200 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 陈玲玉 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机床工作台五自由度误差同时测量系统及方法。采用准直激光光束作为基准，以四象限探测器作为误差测量的敏感器件，由激光器、分光棱镜、反射镜、聚焦透镜和四象限探测器组成测量系统。工作行程达到米级距离、安装过程简单、所用光学器件少、体积小且移动端无电缆，满足机床工作台五自由度误差同时测量要求。 | ||
| 搜索关键词： | 四象限探测器 机床工作台 测量系统 五自由度 准直激光光束 安装过程 测量要求 分光棱镜 工作行程 光学器件 聚焦透镜 敏感器件 误差测量 激光器 反射镜 体积小 移动端 电缆 | ||
【主权项】：
1.一种机床工作台五自由度误差同时测量系统，其特征在于，包括固定端和移动端，固定端安装在机床床身；移动端吸附于机床工作台，随工作台沿导轨运动；固定端包括激光器(1)、反光镜(7)、分光棱镜A(2)和分光棱镜B(4)；其中，激光器(1)和分光棱镜A(2)同一水平线放置，分光棱镜A(2)、分光棱镜B(4)和反光镜(7)并排放置；移动端包括透镜(5)、四象限探测器A(3)、四象限探测器B(6)、四象限探测器C(8)和电路系统板(9)；其中，四象限探测器B(6)放置于透镜(5)的焦平面，四象限探测器A(3)、四象限探测器B(6)和四象限探测器C(8)并排放置，电路系统板(9)紧贴移动端内壁放置。/n
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