[发明专利]一种真空设备的角度调节装置在审
| 申请号： | 201911100410.2 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112853298A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 郭晓龙;张庆钊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空设备的角度调节装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架；支撑法兰；丝杆法兰；滑块，所述滑块设置在丝杆法兰上，且所述滑块与丝杆连接；手轮，所述手轮设置在所述支撑法兰上，且所述手轮穿过所述轴承与所述丝杆的一端连接；波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调节，减少开腔带来的污染，角度调节准确率高的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空设备 角度 调节 装置 | ||
【主权项】：
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