[发明专利]一种适用于异质结太阳能电池的光注入工艺

摘要

本发明公开了一种适用于异质结太阳能电池的光注入工艺。通过照射光源对异质结电池进行光注入，与此同时，采用辅助加热方式对异质结电池进行加热，光注入强度高于10000W/m2，光注入的时间在45‑600s之间。本发明的优点在于：通过采用照射光源直接对异质结电池进行光注入，与此同时进行辅助加热，由此在短时间内提供一个高的光注入量，在此过程中，在最短的时间内尽可能的提高光注入量作用在含非晶硅膜层的N型异质结电池上，由此使其钝化效果大幅度提升，其巧妙地采用短时高注入的手段并优化了处理的工艺，使得异质结电池的转换效率得到大幅度提高。