[发明专利]一种基于X射线微像素单元的平板X射线源及其制备方法在审
| 申请号： | 201911102584.2 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110854007A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 陈军;黄佳;邓少芝;许宁生;佘峻聪 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01J35/06 | 分类号： | H01J35/06;H01J9/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈嘉毅 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种基于X射线微像素单元的平板X射线源，包括阴极基板、阳极基板及高压绝缘隔离体；所述阴极基板和所述阳极基板相对平行设置，所述高压绝缘隔离体设置于所述阴极基板和所述阳极基板之间以将两者隔离开，还公开了一种基于X射线微像素单元的平板X射线源的制备方法，包括制作阴极基板，制作阳极基板和组装，绝缘层覆盖法可有效降低了底部阴极电极条的边缘电场，减少放电现象发生的可能，从而实现阳极电压的进一步提高，同时，可以改善器件工作稳定性，延长器件使用寿命，阳极基板上的圆形金属靶排布并与顶部阴极电极及生长源薄膜一一对应，构成阵列式排布的X射线微像素单元阵列，从而使得平板X射线源具有空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 射线 像素 单元 平板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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