[发明专利]在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置和方法在审
| 申请号： | 201911103882.3 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110646172A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 王敏;吴振聪;陈玉芳;连东沛;张昊 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 35100 福州元创专利商标代理有限公司 | 代理人： | 丘鸿超;蔡学俊 |
| 地址： | 350117 福建省福州市闽侯县*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提出一种在线泰曼‑格林成盘检测干涉仪测量装置和方法，其特征在于，包括：激光器光源、扩束系统、起偏器、检偏器、两个1/4玻片、偏振分光棱镜、平面参考镜、待测成盘加工的球面镜片、球面标准镜、成像镜组和光电传感器CCD。其实现扩束后的平行光经过分光元件分成参考光和测试光，测试光经过标准镜汇聚成标准球面波且与待测镜片曲率中心重合，并原光路返回至干涉光路与参考光形成相干光束。此光路利用非对称的泰曼‑格林干涉光路来检测成盘镜片，其优点是结构紧凑，易于小型化，同时也契合大批量镜片检测的需求，使得检测过程更加简单、便利，实现球面镜片不下盘检测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 干涉光路 球面镜片 参考光 测试光 格林 偏振分光棱镜 标准球面波 干涉仪测量 光电传感器 激光器光源 球面标准镜 成像镜组 分光元件 镜片检测 镜片曲率 扩束系统 相干光束 中心重合 标准镜 参考镜 非对称 检偏器 平行光 起偏器 镜片 玻片 光路 扩束 下盘 原光 契合 汇聚 返回 便利 加工 | ||
【主权项】：
1.一种在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于，包括：激光器光源、扩束系统、起偏器、检偏器、两个1/4玻片、偏振分光棱镜、平面参考镜、待测成盘加工的球面镜片、球面标准镜、成像镜组和光电传感器CCD；所述激光器光源、扩束系统、起偏器从左至右依次设置在偏振分光棱镜左方的光路上；第二1/4玻片、所述球面标准镜、待测成盘加工的球面镜片从左至右依次设置在偏振分光棱镜右方的光路上；所述平面参考镜、第一1/4玻片从上至下依次设置在偏振分光棱镜上方的光路上；所述检偏器、成像镜组和光电传感器CCD从上至下依次设置在偏振分光棱镜下方的光路上。/n
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