[发明专利]一种便于安装加热片的MOCVD加热器源及其使用方法有效
申请号: | 201911104941.9 | 申请日: | 2019-11-13 |
公开(公告)号: | CN110656372B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 黎静;陈景升;田青林 | 申请(专利权)人: | 江苏实为半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B25/10 | 分类号: | C30B25/10;C30B29/40;C30B29/48 |
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地址: | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种便于安装加热片的MOCVD加热器源及其使用方法,包括端盖、圆筒、支撑架、加热片主体、圆盘、椭圆杆、椭圆块、圆槽、复位盘簧一、转动销、磁块一、磁块二、轴承、固定杆一、转动板、弹簧一、压板、固定杆二、T型杆、弹簧二、限位块、收纳槽一、磁方、固定销、复位盘簧二、螺栓、螺母、收纳槽二、限位槽二、弹簧三以及卡块。本发明将圆盘安装在圆筒内部,使得椭圆杆安装在圆盘上的椭圆孔内部,反向转动椭圆块,使得转动销转动带动磁块一与磁块二分离,在复位盘簧一弹力的作用下,椭圆块转动恢复原位与圆盘贴合,进而完成圆盘安装,螺栓移动对卡块进行挤压,卡块受到挤压移动,卡块移动进入限位槽二内部,进而将端盖安装在圆筒上。 | ||
搜索关键词: | 一种 便于 安装 加热 mocvd 加热器 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
1.一种便于安装加热片的MOCVD加热器源,其特征在于:包括端盖(1)、圆筒(2)、支撑架(3)、加热片主体(4)、圆盘(5)、安装机构、贴合机构以及连接机构,所述支撑架(3)顶端安装圆筒(2),所述圆筒(2)顶端安装端盖(1),所述圆筒(2)内部底端安装圆盘(5),所述圆盘(5)上安装加热片主体(4);/n所述安装机构包括椭圆杆(6)、椭圆块(7)、圆槽(8)、复位盘簧一(9)、转动销(10)、磁块一(11)以及磁块二(12),所述圆筒(2)内部底端固定安装椭圆杆(6),所述椭圆杆(6)顶端安装椭圆块(7),所述椭圆杆(6)安装在圆盘(5)内部,且椭圆块(7)底端与圆盘(5)顶端相贴合,所述椭圆杆(6)顶端开设圆槽(8),所述椭圆块(7)底端固定安装转动销(10),所述转动销(10)环形侧面上安装复位盘簧一(9),且复位盘簧一(9)外侧固定安装在圆槽(8)内部,所述圆槽(8)内部固定安装磁块二(12),所述转动销(10)环形侧面上安装磁块一(11);/n所述贴合机构包括固定杆一(14)、转动板(15)、弹簧一(16)、压板(17)以及固定杆二(18),所述加热片主体(4)左右两侧对称安装有两个固定杆一(14)以及两个固定杆二(18),两个所述固定杆一(14)之间安装转动板(15),所述转动板(15)底端固定安装弹簧一(16),所述弹簧一(16)底端固定安装在压板(17)上,所述压板(17)底端与加热片主体(4)相贴合,所述转动板(15)一端位于两个固定杆二(18)之间,所述固定杆一(14)以及固定杆二(18)底端均固定安装在圆盘(5)上;/n所述连接机构包括螺栓(26)、螺母(27)、收纳槽二(28)、限位槽二(29)、弹簧三(30)以及卡块(31),所述端盖(1)环形侧面上对称安装两个螺栓(26),所述螺栓(26)环形侧面上安装螺母(27),且螺母(27)外侧固定安装在端盖(1)上,所述端盖(1)内部对称开设两个收纳槽二(28),所述收纳槽二(28)内部固定安装弹簧三(30),且弹簧三(30)一端固定安装在卡块(31)上,所述卡块(31)一端延伸至收纳槽二(28)内部,所述螺栓(26)一端延伸至收纳槽二(28)内部与卡块(31)相贴合,所述圆筒(2)环形侧面上对称开设两个限位槽二(29),且限位槽二(29)与收纳槽二(28)对齐,所述卡块(31)一端延伸至限位槽二(29)内部/n
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