[发明专利]一种产生“计量大学”聚焦光斑字样的位相板在审
| 申请号： | 201911105689.3 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112799284A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 马超然;李旸晖;郭璐璐;陈伟 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种产生“计量大学”聚焦光斑字样的位相板。该位相板呈圆形，通过其表面的结构对入射光进行相位调制，产生“计量大学”聚焦光斑。其特征在于该位相板具有圆形的相位分布，能够使透过的平行光束在聚焦平面产生“计量大学”聚焦光斑字样，同时，改变入射光的波长还可以得到不同大小的聚焦光斑。在光刻领域、尤其是无掩膜光刻领域有着广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 产生 计量 大学 聚焦 光斑 字样 位相 | ||
【主权项】：
暂无信息
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