[发明专利]一种能够实现光学系统自动闭环控制的孔径仪及测量方法有效
| 申请号： | 201911106416.0 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110849281B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 朱治友;张瑶瑶;李娜;胡冬冬;程实然;侯永刚;吴志浩;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/12 | 分类号： | G01B11/12 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 徐尔东 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能够实现光学系统自动闭环控制的孔径仪及测量方法，其中装置包括plc和腔室，还包括两驱动机构、测试机构、CCD相机，其中：腔室左右侧壁上开设有端口，端口处开设有装有wafer的机械手，腔顶开设有腔盖；两驱动机构分别固定在腔室左右侧壁上，驱动机构包括伺服电机、编码器、丝杆转轴、滑块、滑轨；测试机构包括两旋转平台、两转轴、两光线发射器、两光线接收器；本发明还公开了一种能够实现光学系统自动闭环控制的孔径仪的测量方法；本发明解决了需破真空手动将wafer从机台腔室中多次取出放入以配合孔径仪检测分析，取出的wafer还需进行冷却，操作繁琐的问题；本发明通过机械手、光线发射器、光线接收器自动调节以配合孔径仪检测分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 实现 光学系统 自动 闭环控制 孔径 测量方法 | ||
【主权项】：
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