[发明专利]高纯度锗晶体材料的表面处理装置及处理方法在审
| 申请号： | 201911106586.9 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110670141A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 吴绍华;王柯;姚杨;南曲哲;郭晨宇;史娜娜;张二平;孙兴;赵竟宇;杨伟声;王元康;木锐 | 申请（专利权）人： | 云南北方驰宏光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/08 |
| 代理公司： | 61242 西安东灵通专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李思琼 |
| 地址： | 655000 *** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了高纯度锗晶体材料的表面处理装置及处理方法，涉及光学元件加工技术领域，为解决现有技术中，传统的锗晶体材料的表面处理方式存在的酸洗设备昂贵、操作难度大、对人员的能力要求较高的技术问题，本发明的技术方案如下：本发明中的高纯度锗晶体材料的表面处理装置，包括盛放锗晶体材料的盛料槽、垫条和加热器；所述盛料槽固定于加热器的发热面，所述盛料槽的顶部为敞开结构，侧面上部开设进水口，所述进水口与进水管路连接，所述进水管路上设有体积流量计和进水阀，所述进水口相对的盛料槽侧面下部开设出水口，所述出水口与出水管路连接，所述出水管路上设有出水阀。 | ||
| 搜索关键词： | 盛料槽 锗晶体 进水口 表面处理装置 加热器 出水口 高纯度 表面处理方式 光学元件加工 体积流量计 敞开结构 出水管路 进水管路 能力要求 酸洗设备 侧面 出水阀 出水管 传统的 发热面 进水阀 进水管 垫条 盛放 | ||
【主权项】：
1.高纯度锗晶体材料的表面处理装置，其特征在于，包括盛放锗晶体材料的盛料槽、垫条和加热器；所述盛料槽固定于加热器的发热面，所述盛料槽的顶部为敞开结构，侧面上部开设进水口，所述进水口与进水管路连接，所述进水管路上设有体积流量计和进水阀，所述进水口相对的盛料槽侧面下部开设出水口，所述出水口与出水管路连接，所述出水管路上设有出水阀。/n
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