[发明专利]集成于PCB上的压电致动流体泵有效
申请号: | 201911107995.0 | 申请日: | 2019-11-13 |
公开(公告)号: | CN110805547B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 王代华;彭芸浩;唐炼凯 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04;F04B49/06;F04B53/10 |
代理公司: | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人: | 康海燕 |
地址: | 400030 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开一种集成于PCB上的压电致动流体泵,包括PCB基板、泵作用单元和至少两个压电致动流体阀,泵作用单元分别通过流道与每个压电致动流体阀连接。其中泵作用单元由PCB工艺加工的泵腔壁和覆盖并固定在泵腔壁上的压电单晶执行器构成。压电致动流体阀由PCB工艺加工的阀腔壁、阀口部和覆盖并固定在阀腔壁上的压电单晶执行器构成。通过驱动泵作用单元和压电致动流体阀的压电单晶执行器,使它们有序动作实现流体流量、流速和流向的精确控制功能。本流体泵适宜于集成于PCB上,具有精密操控流体流量、流速和流向的功能,且能够实现与其它微小流控部件集成,从而为复杂的微小流控系统提供流体驱动动力源的功能。 | ||
搜索关键词: | 集成 pcb 压电 流体 | ||
【主权项】:
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