[发明专利]一种测试方法及装置有效
| 申请号： | 201911108971.7 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110793987B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 顾世海;王桂磊;亨利·H·阿达姆松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘晓菲 |
| 地址： | 100029 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测试方法及装置，提供待测膜层后，可以利用X射线衍射设备对待测膜层的表面进行多个入射角度扫描，得到每个入射角度对应的多个检测角度下的X射线强度，由于X射线强度覆盖了多个入射角度以及多个检测角度，较为全面，而不同组分和几何粗糙度对X射线强度的影响不同，因此对这些X射线强度进行分析，可以得到待测膜层的组分非均匀信息和/或几何粗糙度，便于后续对待测膜层的研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种测试方法，其特征在于，包括：/n提供待测膜层；/n利用X射线衍射XRD设备对所述待测膜层的表面进行多个入射角度扫描，得到每个入射角度对应的多个检测角度下的X射线强度；/n对所述X射线强度进行分析，得到所述待测膜层的组分非均匀信息和/或几何粗糙度。/n
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