[发明专利]ARC镀膜生产线的传送系统在审
申请号: | 201911110614.4 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN112795892A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 祝海生;陈立;唐洪波;唐莲;薛闯;金诚明;凌云;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人: | 安曼 |
地址: | 411100 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供了ARC镀膜生产线的传送系统,ARC镀膜生产线包括多个依次连接的箱体,多个箱体依次连接形成U形通道,所述传送系统包括多组传送组件,每个箱体内布置一组传送组件,多组传送组件依次连接形成U形传送路径,每组传送组件包括传动架、电源、传动电机、传动带和传动组件,待镀膜的基片安装在基片架上,基片架架设在传动组件上,传动组件带动所述基片架沿着所述U形传送通道运行。本发明传送路径沿着U形传送通道布置,多个传送组件和传动电机沿着传送路径均匀布置,使传送带均匀受力、传送平稳,基片架同时架设在至少两个内传动轮上,且内传动轮为内凹圆周面,使基片架稳定的支撑在内传动轮上且传送平稳。 | ||
搜索关键词: | arc 镀膜 生产线 传送 系统 | ||
【主权项】:
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