[发明专利]一种非晶纳米线与多孔薄膜的原位可操控键合方法有效
申请号: | 201911111539.3 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN110844879B | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 苏江滨;吉高峰;王智伟;马骥;何祖明;唐斌;蒋美萍 | 申请(专利权)人: | 常州大学 |
主分类号: | B82B3/00 | 分类号: | B82B3/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 213164 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种非晶纳米线与多孔薄膜的原位可操控键合方法,将纳米线分散到具有多孔薄膜结构的透射电镜(TEM)样品上,之后放入TEM中,选取自由端突出到多孔薄膜孔洞中的纳米线片段,在TEM的观察下按“纳米线削尖—纳米线弯钩—纳米线键合”工艺进行键合处理。本发明利用透射电镜中高能电子束有针对性辐照,实现了非晶纳米线的削尖、弯钩,并最终与多孔薄膜高质量键合在一起,具有原位、灵活可操控、高精度、低温键合等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 多孔 薄膜 原位 操控 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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