[发明专利]一种超精密大口径非球面轮廓测量机及其测量方法在审
| 申请号： | 201911113856.9 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110793461A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 席建普;张来邦;李彬;梁颖;杨清;刘同士;李亚东 | 申请（专利权）人： | 中原工学院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 41125 郑州优盾知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高园 |
| 地址： | 451191 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超精密大口径非球面轮廓测量机及其测量方法，解决了现有技术中非球面轮廓测量精度不高的问题。本发明包括机架，机架下部设有X轴位移装置，X轴位移装置上设有气浮转台，机架上部设有Z轴位移装置和配重机构，配重机构与Z轴位移装置相连接，且Z轴位移装置与气浮转台相对应。本发明采用极坐标测量方式，XZ轴直线运动配合转台圆周运动，利用高精度测头接触被测工件，快速采集数据，以实现对较大口径的非球面工件（600mm）形状精度和平面工件的轮廓测量，这种测量方式简单易于操作，避免了多维操作测量的误差累积，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 轮廓测量 配重机构 气浮转台 大口径 非球面工件 被测工件 操作测量 机架上部 机架下部 快速采集 球面轮廓 误差累积 转台圆周 超精密 非球面 极坐标 测头 多维 配合 | ||
【主权项】：
1.一种超精密大口径非球面轮廓测量机，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）下部设有X轴位移装置（2），X轴位移装置（2）上设有气浮转台（3），机架（1）上部设有Z轴位移装置（4）和配重机构（5），配重机构（5）与Z轴位移装置（4）相连接，且Z轴位移装置（4）与气浮转台（3）相对应。/n
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