[发明专利]零温漂谐振器的结构及制成方法在审
| 申请号： | 201911114389.1 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110995190A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 施小赟;杜迅 | 申请（专利权）人： | 常州微泰格电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10;H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种零温漂谐振器的结构及制成方法，基底和制作在基底表面的叉指换能器，所述叉指换能器为三层结构，从下往上依次为打底层、中间层和表层，其中打底层为钛(TI)层，中间层为铝(AL)层，表层为金(AU)层，该所述零温漂谐振器的制成方法，在不改变谐振器设计的前提下通过改变前道的工艺，以钛(TI)铝(Al)金(AU)作为叉指换能器的材料，以石英片(SiO2)作为衬底的普通谐振器，通过ICP刻蚀工艺达到零温漂的工艺方法。 | ||
| 搜索关键词： | 零温漂 谐振器 结构 制成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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