[发明专利]测试光掩模的设备和方法

摘要

本发明公开了测试光掩模的设备和方法。一种用于测试光掩模的设备可以包括装载块、驱动块和控制块。装载块可以被配置为容纳光掩模盒，所述光掩模盒被配置为容纳光掩模。驱动块可以被布置在装载块下方以提升装载块和使转载块旋转。控制块可以被配置为控制装载块和驱动块的操作。装载块可以包括底表面、顶表面和多个视觉相机。底表面可以被配置为支撑光掩模盒。顶表面可以面向底表面。视觉相机可以被安装在顶表面处以拍摄光掩模的边缘部分。