[发明专利]一种镍掺杂铁酸铋薄膜体系材料的制备方法有效

专利信息
申请号: 201911116100.X 申请日: 2019-11-15
公开(公告)号: CN110791732B 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 陈水源;霍冠忠;叶晴莹;王可;张裕祥 申请(专利权)人: 福建师范大学
主分类号: C23C14/28 分类号: C23C14/28;C23C14/08;C04B35/26;C04B35/622
代理公司: 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 代理人: 林月萍
地址: 350108 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开一种镍掺杂铁酸铋薄膜体系材料的制备方法,该材料为BiFe1‑xNixO3,其中x=0、0.02、0.04、0.06、0.08、0.10)。首先采用溶胶凝胶法制备BiFe1‑xNixO3体系粉末样品,然后将该材料的粉末样品进行干燥并制成块体靶材,最后用脉冲激光沉积法将块体靶材沉积在FTO衬底上制得BiFe1‑xNixO3体系薄膜。本发明的方法可以确保薄膜质量好、成相纯度高、薄膜元素比例稳定、薄膜与衬底粘附性好,且纯相薄膜制备的成功率高,可重复性好,而且BiFe1‑xNixO3体系薄膜样品观测到明显的磁、铁电、光伏效应。
搜索关键词: 一种 掺杂 铁酸铋 薄膜 体系 材料 制备 方法
【主权项】:
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