[发明专利]一种新型MEMS高Q值非螺线管集成电感及其制备方法有效
| 申请号： | 201911120017.X | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN112397289B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 周盛锐;徐玲;杨颖琳 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01F27/28 | 分类号： | H01F27/28;H01F27/30;H01F41/00;H01F41/18;H01F41/22 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 贾慧琴;包姝晴 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型MEMS高Q值非螺线管集成电感及其制备方法，该集成电感包含：硅基体；嵌设在所述硅基体内的TSV微铜柱，其两端分别露出，该TSV微铜柱包含：中心端口铜柱、内侧微铜柱组、第一外侧微铜柱组及第二外侧微铜柱组；第一表层互连线圈，其包含顶部表层互连线圈、底部表层互连线圈；外表层互连铜柱；及，第二表层互连线圈，其包含顶部外表层互连线圈、底部外表层互连线圈。本发明采用改良的嵌入式非螺线管集成方案，通过低温氧化层隔离电感和硅衬底，降低衬底损耗，并通过绝缘材料支撑非螺线管结构表层互连线圈，在较小的面积内嵌入式集成多匝线圈，最终形成损耗低、杂散寄生电容小、具有高Q值的微型集成电感,同时与封装工艺兼容、机械稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 mems 螺线管 集成 电感 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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