[发明专利]一种基于射频微机电结构的电控阻抗调配芯片及微波系统有效
| 申请号： | 201911120037.7 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN110768643B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 黄永锋;殷玉喆;何力 | 申请（专利权）人： | 成都挚信电子技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H01P5/12 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 韩雪 |
| 地址： | 611730 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于射频微机电(RF‑MEMS)结构的电控阻抗调配芯片，包括芯片衬底、MEMS阻抗调配器，所述MEMS阻抗调配器设计制作在芯片衬底上；所述MEMS阻抗调配器包括马达型阻抗调配器或开关型阻抗调配器；所述马达型阻抗调配器包括微型机电装置、中心导体，所述微型机电装置包括具有射频微机电结构的微型马达、微波探针，所述微型马达驱动微波探针沿中心导体的轴向移动或沿中心导体的垂直方向移动。并提出了一种基于射频微机电结构的电控阻抗调配微波系统，典型应用案例包括功率放大器、收发模块。这样的设计，实现了具有阻抗调配器结构的微波系统的集成化和小型化，提高了使用MEMS阻抗调配器系统的工作带宽和多通道适应性，增强了工作温区的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 射频 微机 结构 阻抗 调配 芯片 微波 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于射频微机电结构的电控阻抗调配芯片，其特征在于：包括芯片衬底(1)、MEMS阻抗调配器，所述MEMS阻抗调配器设计制作在芯片衬底(1)上；所述MEMS阻抗调配器包括马达型阻抗调配器或开关型阻抗调配器；所述马达型阻抗调配器包括微型机电装置(2)、中心导体(3)，所述微型机电装置(2)包括具有射频微机电结构的微型马达、微波探针，所述微型马达驱动微波探针沿中心导体(3)的轴向移动或沿中心导体(3)的垂直方向移动。/n
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