[发明专利]环保型金刚砂线切割液有效
申请号: | 201911121943.9 | 申请日: | 2019-11-15 |
公开(公告)号: | CN110804484B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 王成;赵天祥 | 申请(专利权)人: | 湖北诚祥科技有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10N30/04;C10N30/06;C10N30/16 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人: | 吕小琴 |
地址: | 448000 湖北省荆*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种环保型金刚砂线切割液,线切割液原料按重量百分比包括以下组分:多支链醇改性表面活性剂3‑5%、十二碳炔二醇聚氧乙烯醚3‑5%、超支化Gemini阳离子表面活性剂0.5‑1%、特殊类型醇醚5‑15%、异构硬脂酸3‑5%、AMP‑95 3‑5%、余量为去离子水加至100%;具有优良的润湿,冷却,润滑,清洗,低泡,和沉降性能,并具有很好的润湿、渗透性,切割液具有良好的抗菌性,防止切割液变质,切割液可循环使用,且循环利用率高,有效延长切割液的使用寿命。该切割液可有效防止硅片表面TTV大,有线痕,硅片在切割过程中发生脆性崩裂或划痕的发生,提高硅片表面的光滑度,避免硅片翘曲,使所加工的硅片厚度均匀一致,提高良品率。 | ||
搜索关键词: | 环保 金刚砂 切割 | ||
【主权项】:
暂无信息
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