[发明专利]一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源在审
| 申请号： | 201911123708.5 | 申请日： | 2019-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN110856331A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 柴昊;贾军伟;卢晓勃;张明志;张书锋;郎昊 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 金杨 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源，涉及半导体制造技术领域，包括射频天线、石英介质窗、感应屏蔽层、支撑结构、外屏蔽罩、匹配网络、射频电源，可消除射频感应天线与等离子体之间的残余容性耦合、调节天线电压分布，产生空间分布均匀、等离子体电位非常低的射频等离子体，具有较高的空间等离子体环境模拟稳定度，且该系统结构简单、可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 空间 等离子体 环境模拟 均匀 射频 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京东方计量测试研究所，未经北京东方计量测试研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911123708.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种生物技术研发用实验台
- 下一篇：一种板材加工用灵活式喷漆装置及其使用方法
