[发明专利]一种非制冷红外探测器像元及其制备方法在审
| 申请号： | 201911129019.5 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN111024243A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 刘军库;肖林;刘紫玉;徐庆安 | 申请（专利权）人： | 中国空间技术研究院 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 左文 |
| 地址： | 100081 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种非制冷红外探测器像元及其制备方法，所述像元包括底层衬底和位于衬底上的双支撑悬臂梁结构；双支撑悬臂梁结构包括第一介质层、第二金属电极层，光敏层和第二介质层，第一介质层为双支撑悬臂梁结构的支撑层，支撑层向下凹陷延伸至第一金属电极层上形成至少两处具有容纳空间的支撑柱；所述支撑柱的侧壁为陡直的支撑臂侧壁；在所述像元制备过程中通过在聚酰亚胺牺牲层上面增加介质牺牲层作为RIE刻蚀聚酰亚胺牺牲层的掩膜，之后通过RIE刻蚀去除介质掩膜层，同时平滑聚酰亚胺侧壁，从而获得陡直的侧壁，为获得陡直的支撑柱提供了基础，该方法为小像元器件的提供了保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制冷 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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