[发明专利]一种基于近场光学谐振腔的面外位移传感单元及方法有效
| 申请号： | 201911130641.8 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110836640B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 卢乾波;王逸男;王筱轲;王小旭;姚远;白剑;王学文;黄维 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 云燕春 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于近场光学谐振腔的面外位移传感单元及方法，属于位移传感领域。所述面外位移传感单元包括一个激光器、一个分光棱镜、一个光电探测器、一个由可动亚波长硅光栅、硅基底和覆盖在两者上的错位亚波长银膜构成的近场光学谐振腔；本发明结合严格耦合波分析法和遗传算法优化得到了近场光学谐振腔的最优参数，使得从谐振腔出射的反射光强对可动亚波长硅光栅的面外位移非常敏感，并且对其面内位移相对不敏感。本发明设计的面外位移传感单元不仅拥有超越已报道位移传感单元的超高灵敏度，并且将多层可动光栅简化为了双层金属，使得结构相对简单，加工难度大大降低，因此可实现超高精度、高度集成的面外位移测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 近场 光学 谐振腔 位移 传感 单元 方法 | ||
【主权项】：
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