[发明专利]多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统及方法在审
| 申请号： | 201911131666.X | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110736027A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张文俊;范修远;赵莹莹;何斐逸 | 申请（专利权）人： | 赣州讯飞腾传导技术有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;C03B37/014 |
| 代理公司： | 32279 南京中盟科创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 孙丽君 |
| 地址： | 341000 江西省赣州市赣州经*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提出一种多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其包括多个轴向气相沉积反应腔体、多个支线风管、总线风管和PLC控制器，反应腔体与支线风管的数量相同，支线风管的一端连接反应腔体，另一端与总线风管连接；反应腔体内设置腔体压力检测仪；支线风管设置支线自动阀和手动补风阀；总线风管设置风机、缓冲罐、缓冲罐压力检测仪、总线自动阀、总线风管压力检测仪；腔体压力检测仪、支线风管的支线自动阀，以及风机、缓冲罐压力检测仪、总线自动阀、总线风管压力检测仪均与PLC控制器连接，该控制系统能快速智能地调整总线风管的抽风量，有效控制了腔体压力，提高了沉积效率。本发明还提出一种利用该控制系统联动控制压力的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 风管 总线 自动阀 压力检测仪 反应腔体 缓冲罐 检测仪 风管压力 控制系统 气相沉积 腔体压力 风机 轴向 联动控制系统 沉积效率 联动控制 一端连接 有效控制 补风阀 抽风量 反应腔 设置腔 体内 智能 | ||
【主权项】：
1.多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其特征在于，包括多个轴向气相沉积反应腔体、多个支线风管、总线风管和PLC控制器，所述轴向气相沉积反应腔体与所述支线风管的数量相同，两者一一对应，每一个轴向气相沉积反应腔体与一个支线风管连接，构成一条支线，支线风管的一端连接轴向气相沉积反应腔体，另一端与总线风管连接；/n所述轴向气相沉积反应腔体设置腔体压力检测仪；/n所述支线风管设置支线自动阀和手动补风阀；/n所述总线风管设置风机、缓冲罐、缓冲罐压力检测仪、总线自动阀、总线风管压力检测仪；/n所述轴向气相沉积反应腔体的腔体压力检测仪、所述支线风管的支线自动阀，以及所述总线风管的风机、缓冲罐压力检测仪、总线自动阀、总线风管压力检测仪均与所述PLC控制器连接。/n
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