[发明专利]一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法在审
申请号: | 201911131950.7 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN110828611A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 候成成;彭晓晨;印越;管自生 | 申请(专利权)人: | 南京纳鑫新材料有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0236 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 石磊 |
地址: | 211100 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及高效太阳能多晶电池制造技术领域,且公开了一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法,包括以下步骤:S1:多晶硅片的初抛、镀银和挖孔;S2:漂洗;S3:脱银;S4:再次漂洗;S5:烘干;S6:扩孔;S7:水洗;S8:碱洗;S9:再次水洗;S10:酸洗;S11:再次烘干。其中S1;S2;S3;S4;S5在槽式机中完成,S6;S7;S8;S9;S10;S11在链式机中完成。该新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法,可以提高硅片表面绒面结构的均匀性,可以充分利用现有的链式制绒设备,大大缩短了设备的长度。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 链式 相结合 黑硅绒面 制备 方法 | ||
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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