[发明专利]位移大小与方向的高精度单光路测量方法及装置

摘要

一种位移大小与方向的高精度单光路测量方法及装置；所述方法是在被测物体上安装反射镜，且沿光轴方向移动，入射光沿光轴方向垂直进入光子晶体，出射后垂直射向反射镜并原路返回，在光轴方向上入射光与反射光叠加在光源和反射镜之间形成驻波共振，反射镜和光子晶体一起构成半开放的介质谐振器，通过光谱分析判断出反射镜的位移变化并实时判断出被测物体的移动方向；所述装置包括依次设置于同一光轴方向上的光源、准直装置、光子晶体和反射镜，光子晶体的侧面垂直于光轴方向设置有光谱仪。本发明可以实现测量精度从微波到可见光波段量级的变化，可以实现对位移大小和方向的同时测量，可以实现#imgabs0#精度的长距离测量以及超高精度的短距离测量。