[发明专利]一种新型光栅尺位移测量装置在审
| 申请号： | 201911133007.X | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110926340A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 马向红;李世光;宗明成;孟璐璐;谢冬冬;武志鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供的一种新型光栅尺位移测量装置，包括：操作台，所述操作台包括活动部件和固定部件；光学光栅，所述光学光栅固定连接在所述活动部件或所述固定部件上；数字相机，所述数字相机固定连接在所述固定部件或所述活动部件上；光学镜头，所述光学镜头固定连接在所述数字相机，且位于所述光栅与所述数字相机之间；其中，所述光栅成像在所述数字相机的光学传感器上；光源，所述光源为所述光学镜头提供照明。与传统光栅尺相比，本发明不需要传统光栅尺中的指示光栅，结构简单。解决了现有技术中高精密位移测量设备结构复杂、造价不菲，工作环境要求严格的技术问题。达到了在保证大尺度、微纳米级测量的同时，降低设备成本，结构简单且应用场合更加广泛的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 光栅尺 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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