[发明专利]晶圆图形提取方法及其提取系统在审
| 申请号： | 201911133023.9 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110874839A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 庄均珺;陈旭 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于神经网络组合单一图形分类器将晶圆图像训练分类的晶圆图形提取方法，包括：将晶圆图形调整为预设尺寸，并提取图像初级纹理特征；利用神经网络对图像纹理特征进行高阶特征提取,训练后形成不同晶圆图形的单一图形分类器；按单一图形分类器组合规则将单一图形分类器组合形成判断分类器；将晶圆图像输入到判断分类器，判断分类器根据判断规则输出该晶圆图像存在哪几类图形。本发明还公开了一种基于神经网络单一图形分类器将晶圆图像训练分类的晶圆图形提取系统。本发明利用神经网络训练单一图形分类器，组合形成判断分类器，相对于人工晶圆图形识别分类效率更高，准确率更高，能减轻工程师的负担。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 提取 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
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