[发明专利]一种通过激光加工阴极发射体单尖锥的方法有效
| 申请号： | 201911133353.8 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110802326B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张伟;张晓兵;蔡敏;李元成;纪亮;焦佳能 | 申请（专利权）人： | 中国航空制造技术研究院 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/064;B23K26/08 |
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| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种通过激光加工阴极发射体单尖锥的方法，包括以下步骤：(1)激光光束经聚焦镜聚焦后，形成聚焦光束；(2)将阴极发射体安装到可旋转运动装置上；(3)阴极发射体和可旋转运动装置沿同一旋转轴进行旋转运动；(4)聚焦光束中心线与旋转运动中的阴极发射体呈一定角度移动靠近并在聚焦光束焦点处接触，利用激光去除阴极发射体材料，实现阴极发射体单尖锥加工。本发明的方法与湿腐蚀法、高温氧作用离子腐蚀法、电化学腐蚀法相比，可以同时实现对钨、锆、金属氧化物和六硼化镧等场发射阴极发射体单尖锥的高效加工，并且曲率半径可控、加工过程无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 激光 加工 阴极 发射 体单尖锥 方法 | ||
【主权项】：
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