[发明专利]一种稀土六硼化物场发射尖锥阵列的加工方法在审
| 申请号： | 201911133362.7 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110808198A | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 张伟;李元成;张晓兵;蔡敏;纪亮;焦佳能 | 申请（专利权）人： | 中国航空制造技术研究院 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J1/304 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供的一种稀土六硼化物场发射尖锥阵列的加工方法，是通过激光复合电化学刻蚀加工稀土六硼化物场发射尖锥阵列，利用激光加工技术加工尖锥结构的雏形，再利用电化学刻蚀法进一步提高尖锥结构的曲率半径和表面质量，将激光加工技术和电化学刻蚀法有机复合到稀土六硼化物场发射尖锥阵列加工中，从而充分利用了激光加工技术和电化学刻蚀法的优点。本发明实现了对稀土六硼化物表面尖锥阵列高效加工，并且制得尖锥阵列形貌均匀、曲率半径小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稀土 六硼化物场 发射 阵列 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航空制造技术研究院，未经中国航空制造技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911133362.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
