[发明专利]一种铝钪合金靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201911133830.0 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110983262B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡新志;童培云;朱刘;白向钰;谢小林;赵佳;白平平 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/02;C22C21/00;C22C28/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 付丽 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将钪金属原料进行熔炼，得到钪熔体，在所述钪熔体中加入第一铝原料，第一熔炼后得到第一铝钪合金；B)在所述第一铝钪合金水冷后再加入第二铝原料，按照步骤A)的第一熔炼进行后得到第二铝钪合金；C)将所述第二铝钪合金按照步骤B)重复进行0～2次，得到初始铝钪合金；D)将所述初始铝钪合金进行熔炼，重复0～2遍，得到初始铝钪合金熔体；E)将所述初始铝钪合金熔体快速浇注，成型后得到铝钪合金靶材。本发明直接以高纯铝和金属钪为原料，通过分步熔炼的方式得到高纯铝钪合金坯，再进行快速浇注，得到了高品质铝钪合金靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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