[发明专利]热载流子注入效应的寿命评估方法、装置和计算机设备有效
| 申请号： | 201911134386.4 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN111060794B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 何玉娟;章晓文 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 张彬彬 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种热载流子注入效应的寿命评估方法、装置和计算机设备，其中一种热载流子注入效应的寿命评估方法，可针对SOI器件的自热效应，降低环境温度来进行热载流子注入试验，使得SOI器件在进行热载流子注入试验时的工作温度可以保持在目标温度，进而在进行寿命评估时能够消除自热效应对待测SOI器件热载流子注入效应的影响，提高了输出的寿命时间的可靠性和准确性，对SOI器件的可靠性寿命时间评估方法进行修正与应用，有助于提高工艺加工过程中的SOI器件的热载流子可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 载流子 注入 效应 寿命 评估 方法 装置 计算机 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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