[发明专利]一种用于颗粒分离的声表面波微流控装置

摘要

本发明公开了一种用于颗粒分离的声表面波微流控装置，包括压电基底、单个叉指换能器、隔膜及PDMS微流道，叉指换能器蒸镀在压电基底上，并将SiO2溅射在压电基底除电极之外的其它部分上形成隔膜；通过氧等离子体表面处理对PDMS微流道和含叉指结构的基底实现不可逆键合。本发明通过两端具有长短不同的反射栅的单叉指换能器产生声表面波，使直径大小不同的颗粒在微流道内产生运动方向的差异并分离。本发明仅使用单叉指换能器即可实现颗粒的分离，结构集成度更高，占用微流控芯片面积更少，同时也具有加工成本低、节约能耗、制作简单、便携等优点。