[发明专利]一种超精密液体静压转台在审
| 申请号： | 201911137301.8 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110732887A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张瑞涛;孙涛;刘长在;王浩;史德权 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B23Q1/25 | 分类号： | B23Q1/25;F16C32/06 |
| 代理公司： | 23206 哈尔滨龙科专利代理有限公司 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙;23 |
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| 摘要： | 为了提高转台的精度及刚度，本发明记载了一种超精密液体静压转台，属于超精密制造装备技术领域，具体方案如下：一种超精密液体静压转台，包括工作台、圆光栅、读数头、轴承转子、轴承定子、电机、壳体和底座，工作台固定在轴承转子的上表面，圆光栅套设在轴承转子上，读数头固定在壳体上并与圆光栅相对设置，轴承转子的周向设置有梯形凹槽，轴承定子匹配套设在梯形凹槽内并与轴承转子相接触，轴承定子上设置有若干个连通内表面与外周面的通油孔，轴承定子与底座固定连接，电机固定在底座上并驱动轴承转子转动。本发明提供了一种结构简单、更加易于装配的液体静压转台，其具有更高的转台精度和刚度，有利于超精密机床整体性能的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 轴承转子 转台 轴承定子 液体静压 超精密 圆光栅 底座 梯形凹槽 读数头 工作台 壳体 超精密机床 电机固定 驱动轴承 相对设置 制造装备 周向设置 转子转动 内表面 上表面 通油孔 外周 连通 装配 电机 配套 | ||
【主权项】：
1.一种超精密液体静压转台，其特征在于：包括工作台(1)、圆光栅(2)、读数头(3)、轴承转子(4)、轴承定子(5)、电机(6)、底座(7)和壳体(9)，所述工作台(1)固定在轴承转子(4)的上表面，所述轴承转子(4)的外侧面设置有梯形环槽，所述轴承定子(5)匹配套设在梯形环槽内并与轴承转子(4)相接触，所述轴承定子(5)上设置有若干个连通内表面与外周面的通油孔(8)，所述轴承定子(5)与设置在其下方的底座(7)固定连接，所述电机(6)固定在底座(7)上并驱动轴承转子(4)转动，所述壳体(9)位于轴承定子(5)的外侧并固定在轴承定子(5)上，所述圆光栅(2)套设在轴承转子(4)外侧，所述读数头(3)固定在壳体(9)上并与圆光栅(2)相对设置，所述工作台(1)、圆光栅(2)、轴承转子(4)、轴承定子(5)、电机(6)、底座(7)和壳体(9)的中心线重合。/n
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