[发明专利]感测元件及应用其对静电吸附卡盘进行检测的方法有效
| 申请号： | 201911137305.6 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN111323460B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 郑宇现 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01B7/34;G01R29/24;H01L21/683 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种感测元件，其用于检测静电吸附卡盘表面的平整度或表面电荷分布，其包括：顶层、与所述顶层相对设置的底层以及设置在所述顶层和所述底层之间的感测层。所述感测层包括多个第一电极和与所述多个第一电极电性绝缘设置的多个第二电极，每一个第一电极与所述多个第二电极相交以形成电容。本发明还提供应用上述感测元件进行检测静电吸附卡盘的物理特性的方法。通过使用所述感测元件，可以有效了解静电吸附卡盘的物理特性。 | ||
| 搜索关键词： | 元件 应用 静电 吸附 卡盘 进行 检测 方法 | ||
【主权项】：
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