[发明专利]一种薄膜材料结晶的装置和方法在审

专利信息
申请号: 201911137333.8 申请日: 2019-11-19
公开(公告)号: CN112899655A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 明帅强;卢维尔;夏洋;何萌;冷兴龙;李楠;赵丽莉 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/54;C23C16/46
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 房德权
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种薄膜材料结晶的装置和方法,通过腔室;第一管路,所述第一管路与所述腔室的一端连通,且所述第一管路通入第一前驱体进入所述腔室;第二管路,所述第二管路与所述腔室的一端连通,且所述第二管路通入第二前驱体进入所述腔室;马弗炉,所述马弗炉采用包裹管式腔体,且所述马弗炉包裹在所述腔室的外侧;抽真空管路,所述抽真空管路的一端与所述腔室的另一端连通。解决现有技术中原子层沉积设备腔室为金属且腔体较大,对于腔室的升温和降温速度非常缓慢,不适宜活性较低的原子层沉积前驱体的技术问题,达到了维持衬底温度的恒定,保持腔室温度的均匀,实现了拓宽原子层沉积前驱体的选择,提高所沉积薄膜的结晶性的技术效果。
搜索关键词: 一种 薄膜 材料 结晶 装置 方法
【主权项】:
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