[发明专利]一种光电传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911141965.1 申请日: 2019-11-20
公开(公告)号: CN110783418B 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 杜建华;李超 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/105;H01L31/20
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 陶丽;曲鹏
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请实施例公开了一种光电传感器及其制备方法,该光电传感器包括:第一吸收层和第二吸收层,第一吸收层为本征半导体层,第一吸收层包括第一表面和第二表面,第一表面和第二表面相对设置且垂直于入射光的方向,第二吸收层的设置位置包括以下至少之一:设置在本征半导体层内;设置在本征半导体层的第一表面;设置在本征半导体层的第二表面:第二吸收层为间隔排列的条状结构,以使得该光电传感器的暗电流小于或等于预设的暗电流阈值。本申请实施例提供的光电传感器及其制备方法,通过设置第二吸收层为间隔排列的条状结构,使得光电传感器在保持较低的暗电流水平的同时,可以响应光电流产生更多的载流子空穴对。
搜索关键词: 一种 光电 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种光电传感器,其特征在于,包括:第一吸收层和第二吸收层,所述第一吸收层为所述光电传感器的本征半导体层,所述第一吸收层包括第一表面和第二表面,所述第一表面和所述第二表面相对设置且垂直于入射光的方向,其中:/n所述第二吸收层的设置位置包括以下至少之一:/n设置在所述本征半导体层内;/n设置在所述本征半导体层的第一表面;/n设置在所述本征半导体层的第二表面;/n所述第二吸收层为间隔排列的条状结构,以使得所述光电传感器的暗电流小于或等于预设的暗电流阈值。/n
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