[发明专利]一种光电传感器及其制备方法有效
申请号: | 201911141965.1 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN110783418B | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 杜建华;李超 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/105;H01L31/20 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 陶丽;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请实施例公开了一种光电传感器及其制备方法,该光电传感器包括:第一吸收层和第二吸收层,第一吸收层为本征半导体层,第一吸收层包括第一表面和第二表面,第一表面和第二表面相对设置且垂直于入射光的方向,第二吸收层的设置位置包括以下至少之一:设置在本征半导体层内;设置在本征半导体层的第一表面;设置在本征半导体层的第二表面:第二吸收层为间隔排列的条状结构,以使得该光电传感器的暗电流小于或等于预设的暗电流阈值。本申请实施例提供的光电传感器及其制备方法,通过设置第二吸收层为间隔排列的条状结构,使得光电传感器在保持较低的暗电流水平的同时,可以响应光电流产生更多的载流子空穴对。 | ||
搜索关键词: | 一种 光电 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光电传感器,其特征在于,包括:第一吸收层和第二吸收层,所述第一吸收层为所述光电传感器的本征半导体层,所述第一吸收层包括第一表面和第二表面,所述第一表面和所述第二表面相对设置且垂直于入射光的方向,其中:/n所述第二吸收层的设置位置包括以下至少之一:/n设置在所述本征半导体层内;/n设置在所述本征半导体层的第一表面;/n设置在所述本征半导体层的第二表面;/n所述第二吸收层为间隔排列的条状结构,以使得所述光电传感器的暗电流小于或等于预设的暗电流阈值。/n
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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