[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、以及半导体装置有效
| 申请号： | 201911142158.1 | 申请日： | 2015-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN110941142B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 安西信裕;笹野大辅;古贺寻子;井上泰平;赖末友裕 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、以及半导体装置。感光性树脂组合物包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸盐、聚酰胺酸酰胺、可成为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑、以及酚醛树脂组成的组中的至少1种树脂；(B)感光剂；以及(C)选自由多官能(甲基)丙烯酸酯以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺化合物组成的组中的至少1种。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 浮雕 图案 制造 方法 以及 半导体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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