[发明专利]一种具有抗污染功能的氧化锌刺柱阵列及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 201911142686.7 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111153430A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 奚亚男;胡淑锦 | 申请（专利权）人： | 广州钰芯瀚吉科技有限公司 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02;B82Y40/00;G01N27/12 |
| 代理公司： | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 | 代理人： | 曾凤云 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种具有抗污染功能的氧化锌刺柱阵列结构的制备方法与应用。本发明以柔性聚碳酸酯多孔膜为基底，通过原子层沉积、等离子体刻蚀、水热生长、二次刻蚀等步骤，构筑了具有微纳分级结构的氧化锌刺柱阵列，其拥有优异的气敏性能与良好的自清洁抗污染性能，可进一步构建应用于苛刻环境的复合功能气敏传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 污染 功能 氧化锌 阵列 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州钰芯瀚吉科技有限公司，未经广州钰芯瀚吉科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911142686.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
