[发明专利]柔性微流管道气体流量传感器及其制备方法、使用方法有效
| 申请号： | 201911142855.7 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111060170B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 李顺方;郭海中;相文峰;黄晓炜;刘旋 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | G01F1/66 | 分类号： | G01F1/66;B81C1/00;C23C14/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 郑州慧广知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41160 | 代理人： | 付晓利 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种柔性微流管道气体流量传感器及其制备方法、使用方法，与已有的技术相比较，柔性微流管道气体流量传感器，包括硅基底层，硅基底层的上侧设置有PDMS微流管道层，PDMS微流管道层上设置有超表面结构层，PDMS微流管道层和超表面结构层的上侧设置有PDMS保护层。本发明制备方法较为简单，操作方便，且成本低廉，能够在高温、黑暗、狭窄等复杂环境下进行管道气体微流量测试。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 流管 气体 流量传感器 及其 制备 方法 使用方法 | ||
【主权项】：
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