[发明专利]流体制备的方法与系统在审
| 申请号： | 201911144376.9 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111346563A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 南昌铉;申弘植;吕寅准 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | B01F13/10 | 分类号： | B01F13/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流体制备系统。所述流体制备系统包含一槽、一化学物供应线、一混合器以及一去离子水供应线。所述槽含有一第一化学溶液。所述化学物供应线与所述槽连接，并配置以提供所述第一化学溶液。所述混合器与所述槽连接。所述去离子水供应线与所述混合器连接，并配置以提供去离子水，其中所述第一化学溶液与所述去离子水在所述混合器中混合，以提供一第二化学溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 制备 方法 系统 | ||
【主权项】：
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