[发明专利]芯片与基板对位及精调平的显微激光系统

摘要

本发明公开了一种芯片与基板对位及精调平的显微激光系统，解决了如何将激光精定位与显微光学系统结合在一起实现键合精定位的问题。本发明是通过带有同轴光源的显微成像相机所发出的同轴光线分别经过芯片靶标反射镜和基板靶标反射镜反射后，返回到显微成像相机中成像，来实现芯片和基板的对位；用同一光路系统通过双路激光器分别在芯片上的三个靶标反射镜上形成三个定位激光点，从而获得芯片所在水平平面的准确位置，用同一光路系统通过双路激光器分别在基板上的三个靶标反射镜上形成三个定位激光点，从而获得基板所在水平平面的准确位置，从而完成对两个平面平行度的准确调整。

主权项

1.一种芯片与基板对位及精调平的显微激光系统，包括带有同轴光源的显微成像相机（39）、双路激光器（51）、芯片（15）和读出电路基板（4），其特征在于，带有同轴光源的显微成像相机（39）是设置在光学系统操作箱（20）中的，在带有同轴光源的显微成像相机（39）右侧设置有第一聚焦物镜（40），在第一聚焦物镜（40）右侧设置有第三准直物镜（41），在第三准直物镜（41）右侧设置有与水平面成45°角的第三半透半反反射镜（42），在第三半透半反反射镜（42）右侧设置有与水平面成135°角的第四半透半反发射镜（43），在与水平面成135°角的第四半透半反发射镜（43）右侧设置有第七反射镜（44），在第七反射镜（44）正上方设置有第二聚焦物镜（45），在第二聚焦物镜（45）正上方设置有芯片（15），在芯片（15）上设置有芯片靶标反射镜，在第三半透半反反射镜（42）正下方设置有第八反射镜（46），在第八反射镜（46）的右侧设置有第五半透半反发射镜（47），在第五半透半反发射镜（47）的右侧设置有五角棱镜（48），在五角棱镜的下方设置有第三聚焦物镜（49），在第三聚焦物镜（49）正下方设置有读出电路基板（4）。/n