[发明专利]用于蒸镀制程形成微小图案镀膜的金属遮罩及其制法

摘要

本发明涉及一种用于蒸镀制程形成微小图案镀膜的金属遮罩及其制法，该金属遮罩包括低热膨胀系数的薄形金属板材且设有多个间隔排列的开口，所述开口包括多个间隔排列的单元图案孔以及多个狭缝状连接线串联的构造，使其应用于OLED显示面板的蒸镀制程中，能将现有一般图案镀膜步骤与高精细狭缝镀膜步骤整合为单一道蒸镀程序，精简蒸镀程序，该金属遮罩制法则是将薄形金属基材通过压合第一光阻膜、曝光显影及蚀刻而形成第一凹穴，接续通过压合第二光阻膜、曝光显影及蚀刻而形成连通第一凹穴的第二凹穴，及位于第二凹穴与第一凹穴之间的镀膜图案孔部，之后，移除第一光阻膜与第二光阻膜，而制成前述金属遮罩的成品。