[发明专利]一种太赫兹量子级联激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 201911146185.6 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110854666A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 万文坚;曹俊诚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01S5/00 | 分类号： | H01S5/00;H01S5/065;H01S5/40 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太赫兹量子级联激光器及其制作方法，所述激光器后端面垂直于激光器脊条结构长度方向，前端面和脊条结构垂直方向有一倾斜角，两个端面其中一个为解理面，另一个为研磨抛光面，这种不平行的端面导致前后端面反射率和透射率不同，从而改变激光器前后端面的出光比率，端面倾斜角小于激光器有源区全反射临界角时，激光器前端面出光功率比率更大，这种倾斜前端面结构还有利于抑制横向高阶模，适用于宽脊条、单端输出、大功率激光器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 量子 级联 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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